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サンプル研磨機 - 企業1社の製品一覧

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大型サンプル研磨装置『MA-600e RECT』

Φ600mm円形サンプルから大型パネルの研磨まで

『MA-600e RECT』は大型のパネル型サンプル(ガラス/ サファイア等)の表面研磨に最適です。 上部揺動ユニットのフレキシブルパッドにてサンプル表面を一様に研磨することが可能です。 【特長】 ●大径サンプルの研磨に最適 Φ600mm のステージにサンプルを固定することで大径サンプルの全面を研磨可能です。 サンプルはΦ600mm のSUS プレートに熱ワックス等でサンプルを接着し、プレートを真空チャックすることで固定します。 ●プログラム設定による複雑な研磨が可能 主軸・加圧軸の回転数や加圧力、揺動幅を設定可能です。 ●安全に配慮した研磨作業の実現 非常停止スイッチおよび漏電ブレーカー、インターロックカバーにより、 安心安全に配慮しながらの研磨作業を提供します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ウエハ加工/研磨装置

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