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MA-600e RECT

最終更新日:2024年02月20日

ムサシノ電子株式会社
ムサシノ電子株式会社
  • 公式サイト

Φ600mm円形サンプルから大型パネルの研磨まで

『MA-600e RECT』は大型のパネル型サンプル(ガラス/ サファイア等)の表面研磨に最適です。 上部揺動ユニットのフレキシブルパッドにてサンプル表面を一様に研磨することが可能です。 【特長】 ●大径サンプルの研磨に最適 Φ600mm のステージにサンプルを固定することで大径サンプルの全面を研磨可能です。 サンプルはΦ600mm のSUS プレートに熱ワックス等でサンプルを接着し、プレートを真空チャックすることで固定します。 ●プログラム設定による複雑な研磨が可能 主軸・加圧軸の回転数や加圧力、揺動幅を設定可能です。 ●安全に配慮した研磨作業の実現 非常停止スイッチおよび漏電ブレーカー、インターロックカバーにより、 安心安全に配慮しながらの研磨作業を提供します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    ウエハ加工/研磨装置
MA-600e_RECT_201911.png

大型サンプル研磨装置『MA-600e RECT』

MA-600e_RECT_201911.png
MA-600e_RECT_201911.png
  • 関連リンク - https://www.musashino-denshi.co.jp/grinder/tokuchu…

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基本情報

本装置は、下部のΦ600mm 主軸ステージにサンプルを真空チャック固定し、上部加圧軸ヘッドの回転によりラッピング・ポリッシングを行う上面研磨盤式研磨システムです。 研磨盤を固定する加圧ヘッド(上定盤)には左右に移動する機構があり、ワーク全体を研磨することが可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

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※3~6ヶ月

用途/実績例

【用途】 ■研究開発用の試料作製 ■品質保証部門の検査 ...など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

詳細情報

  • MA-600e_RECT_operation_201911.jpg

    揺動距離や揺動速度を含めたプログラム研磨が可能です。 操作はタッチパネルから行なえます。

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弊社は長年に渡り培ってきた技術的ノウハウを用いて、精密加工に適した研磨装置、切断機、スクライバーなどを製造してきました。 特に半導体やセラミックス、光通信などの最先端技術分野において多くの納入実績がございます。 標準仕様の装置の他にも、お客様のニーズに合わせた特注仕様品の設計・製造も承っております。 年々上がり続ける精密加工への精度要求、多様化するニーズに応えるべく、独創的なアイデアと技術を持って邁進してまいります。

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