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ステップ応答 1.5msecと約2倍！高速サーボ弁の導入、油圧サーボシステムの構築、コンタミ対策に好適
直動型 高速サーボ弁『DAシリーズ』は、 デュアル・ハルバッハ・マグネット・アレーによる強磁界を得て、 その環状空間に差動型ボイスコイルを配置することで従来の倍以上の推力を実現。 応答性・耐コンタミ性に優れており、 安定した油空圧の流量制御が行えます。 高速サーボ弁の導入や、油圧サーボシステムの構築、 そしてコンタミ対策を行いたい方に好適な製品です。 【特長】 ■日・米にて特許取得、ドイツにて特許申請中 ■作業油汚染度「NAS1638 10級」まで使用可能 ■ステップ応答：1.5msec ■周波数応答（ゲイン－3dB）：900Hz ■定格流量：10・20・40・60L/min ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
高速応答（400Hz以上）！摺動部分がなく長寿命な空気圧サーボ弁
『AS110シリーズ』は、電気－機械変換部にトルクモータを用いた ノズルフラッパ型3方弁です。 トルクモータの可動部であるアマチュアはフラッパと一体構造となっており フレキシブル管に支持されています。コイルに電流を印可すると、 上下磁極との磁気的関係により電流の極性と大きさに応じたトルクが発生し アマチュアを傾けます。 ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており、 フラッパの動きに応じて供給側と排気側のノズル部開口が変化する ことによって空気圧を制御しています。 【特長】 ■低駆動電流 ■高い分解能・低いヒステリシス ■小型・軽量・小流量制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
摺動部分がなく長寿命！当社が取り扱っている空気圧サーボ弁をご紹介
『AS100シリーズ』は、電気－機械変換部にトルクモータを用いた ノズルフラッパ型サーボ弁です。 コイルに電流を印可すると、上下磁極との磁気的関係により電流の 極性と大きさに応じたトルクが発生し、アマチュアを傾けます。 また、ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており、 フラッパの動きに応じて供給側と排気側のノズル部開口が変化することに よって空気圧を制御しています。 【特長】 ■高速応答 ■低駆動電流 ■高い分解能・低いヒステリシス ■摺動部分がなく長寿命 ■小型・軽量・小流量制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ムービングコイル駆動による精密制御！軽量案内弁による高速応答を実現
当社で取り扱う『VCM駆動（直動型）空気圧サーボ弁』をご紹介します。 電気－機械変換部に可動線輪型フォースモータを用いたスプール型サーボ弁です。 ムービングコイル駆動による精密制御を行い、主に半導体製造設備の分野で活躍しています。（精密位置決めステージ等） 「流量制御 3方弁/5方弁」、「圧力制御 3方弁」をご用意しています。 【特長】 ■大流量 ■高い分解能、低いヒステリシス ■静圧軸受による低誤差、長寿命 ■少ない内部リーク ■軽量案内弁による高速応答を実現 ■デジタルセンサまたはアナログセンサによる位置制御(流量制御弁) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
手のひらサイズの小型軽量、小流量で油圧駆動ロボットやマニピュレータに最適
欧州で実績のある英国STAR Hydraulics製のノズル・フラッパ型油圧サーボ弁です。 手のひらサイズの小型軽量タイプST-200シリーズ。 微妙な操作が必要な油圧式マニピュレータや電磁比例弁以上の高応答が必要なのに重くなりがちな油圧式ロボットに適しています。 もちろん一般的な静的試験機などにも使えます。 工苑は、サーボ弁を駆動するサーボアンプや信号変換器も扱っており、サーボシリンダやコントローラまで含めた油圧サーボ・ミニシステムのご相談にも対応できます。 既存の油圧サーボ弁を使った装置のお困りごともご相談ください。
工作機械から試験機まで幅広く使えるノズルフラッパ型油圧サーボ弁
欧州で実績のある英国STAR Hydraulics製のノズル・フラッパ型油圧サーボ弁です。 工作機械から試験機まで幅広く使えるST-550シリーズ。 直動サーボ弁と違い0.2A以下の小電力で作動し、2～75L/min（△7MPa）の流量が選べます。高速で動かす必要があれば高速応答タイプも選べます。 油圧プレスなどの工作機械から材料試験機など各種試験機まで、多くの産業分野で使用可能です。 工苑は、サーボ弁を駆動するサーボアンプや信号変換器も扱っており、サーボシリンダやコントローラまで含めた油圧サーボ・ミニシステムのご相談にも対応できます。 既存の油圧サーボ弁を使った装置のお困りごともご相談ください。
1～200 NL/min定格流量の空気圧サーボ弁。高応答性、高精度に小型構造。ロボット、半導体製造、アニマトロニクスに最適！
『空圧サーボ弁 J814シリーズ』は、3方弁もしくは4方弁に対応した高トルク、高応答、高精度な小型空気圧サーボ弁です。 指令信号対制御圧力の再現性が良いので、圧力、力、位置や振動の制御に適しています。真空状態を作り出すこともできます。 代表的なアプリケーションはロボット、半導体製造装置、アニマトロニクス、アクティブ除振装置、荷重試験機、内圧制御装置、押し付け力制御装置などです。 【特長】 ■トルクモータを用いた1段型ノズルフラッパ弁 ■高分解能と低ヒステリシス ■小型で軽量、高応答性 ■摺動部がなく頑強で長寿命設計 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
図や表などを用いてわかりやすく解説！正しいサーボ弁の選定基準などを掲載
当資料は、サーボ弁の選定について紹介しているガイドです。 一般産業用の代表的アプリケーションにおける要求をはじめ、 サーボ弁の選定や正しいサーボ弁の選定基準、サーボ弁を選定する際の 重要なパラメータなどを掲載。 図や表などを用いてわかりやすく解説しておりますので、是非ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■一般産業用の代表的アプリケーションにおける要求 ■サーボ弁の選定 ■正しいサーボ弁の選定基準 ■サーボ弁による制御の特長 ■サーボ弁を選定する際の重要なパラメータ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
優れた応答性と耐コンタミ性！アンプ一体型とアンプ別置き型をラインアップ
『DAシリーズ』は、デュアル・ハルバッハ・マグネット・アレーによる 強磁界を得て、その環状空間に差動型ボイスコイルを配置し、従来の 倍以上の推力を発揮し、優れた応答性、優れた耐コンタミ性を有する 油空圧用流量制御弁です。 作動油汚染度NAS1638 10級以下（推奨フィルタ：アブソリュート20μm）。 アンプ一体型「DA03S」、アンプ別置き型「DA03RS」の2種類の形状を ラインアップしており、別置きサーボアンプ「ADA」もご用意しております。 【特長】 ■優れた応答性 ■優れた耐コンタミ性 ■アンプ一体型とアンプ別置き型の2種類の形状をラインアップ ■高温型（150℃）、水-グリコール系、リン酸エステル系、 脂肪酸エステル系、ブレーキオイルにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アマチュアはフラッパと一体構造となっており、フレキシブル管に支持されています
ノズルフラッパ型サーボ弁『AS121-106』は、電気－機械変換部に トルクモータを用い、可変抵抗（ノズルフラッパ）と固定抵抗 （スリット絞り）で構成された低ノイズ型4方弁です。 スリット絞りは、可変絞りであるノズルとペアで流路を構成。 縮流絞りである通常のオリフィスに対して、スリット絞りは中心から 外周へのスリットにより拡張流れとし、入口より出口の流れを減速しています。 出口部での音速流れを減じることによって安定した絞りとなり、 制御圧力のノイズを小さくしています。 【仕様】 ■定格圧力：600kPa ■定格流量：28NL/min ■定格電流：100mA ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
小型・軽量、精密、長寿命！ ※清浄空気であれば基本メンテナンスフリーです！
当社の『ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁』のご紹介です。 比較的小さな流量を高応答で制御できる小型・軽量なサーボ弁です。 ～動作原理～ トルクモータの可動部であるアマチュアはフラッパと一体構造で、フレキシブル管に支持されています。 コイルに電流を印可すると、トルクが発生しアマチュアを傾けます。 ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており、フラッパの動きに応じてノズル部開口が変化することで空気圧を制御しています。 出口部での音速流れを減じることで出力ノイズの小さい安定した絞りを実現した ディスク絞り を搭載した製品もございます。 【特長】 ■摺動部分無し ■高い分解能と高速応答 ■小型・軽量で扱いやすい ■負圧制御構造も対応可能 ※＜適合サーボアンプ＞ 空気圧サーボ弁を最適な状態でご使用いただくために開発されたサーボアンプ「CA250 シリーズ」もございます。 30mA 駆動用アンプにセンサアンプ(LVDT、歪圧力センサ)とプリアンプを構成したことにより簡易的な制御系を構築できるようになりました。 詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
軽量案内弁により高速応答を実現！メカニカルフィードバックを持った2段型サーボ弁
『カフィードバック型空気圧サーボ弁』は、前段部でパワーを 増幅することにより小型化を実現しました。 精密に加工された静圧軸受を備えた軽量案内弁により高速応答が可能。 メカニカルフィードバックを持った2段型サーボ弁が特長です。 定格圧力600kPa、定格電流30mAとなっております。ご用命の際は、 お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■メカニカルフィードバックを持った2段型サーボ弁 ■精密に加工された静圧軸受を備えた軽量案内弁より高速応答を実現 ■前段部でパワーを増幅することにより小型化を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
装置の小型化にも貢献！
電気-機械変換部にトルクモータを用いた『ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁』の超小型3方弁のご紹介です。 通常のノズルフラッパ型空気圧サーボ弁と駆動原理は同様次の通りです。 コイルに電流を印可すると、上下磁極との磁気的関係により電流の極性と 大きさに応じたトルクが発生し、アマチュアを傾けます。 ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており、 フラッパの動きに応じて供給側と排気側のノズル部開口が変化することによって空気圧を制御しています。 弁を小さくすることで、搭載する装置全体の小型化にも貢献でき、 また小型のロボット等アニマトロニクス向けにも適していると考えます。 【特長】 ■高速応答(400Hz 以上) ■低駆動電流 ■高い分解能・低いヒステリシス ■摺動部分がなく長寿命 ■小型・軽量・小流量制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
機種は直動形や2段形の2パターンをご用意！制御流量限界範囲なども掲載
当カタログでは、当社で取り扱っている「サーボ弁」について ご紹介しております。 極めてシンプルな構造の「直動形高速リニアサーボ弁」や、高精度かつ 高応答を実現した「2段形高速リニアサーボ弁」などを掲載。 また、製品ごとの仕様や、制御流量限界範囲、無負荷流量特性などに ついても解説しております。ぜひ、ご一読ください。 【掲載製品】 ■高速リニアサーボ弁 ■アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) ■アンプ搭載型リニアサーボ弁(高性能形) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ヒステリシス0.1％以下と高精度を実現！母機の再現性を大幅に向上させることが可能
『LSV(H)G-EHシリーズ』は、「高精度・簡単・便利」を直動形で 実現したアンプ搭載形リニアサーボ弁です。 直流24V電源を供給し、かつ指令信号を入力するだけで油圧制御システムの 高精度化が実現可能。 その他に、2種類のパイロット弁が選択可能な「汎用型」や、スプールと スリーブにマッチング加工を施している「高性能型」もご用意しております。 【特長】 ■高精度 ■高応答 ■簡単 ■便利 ■優れた耐コンタミ性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
