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1～200 NL/min定格流量の空気圧サーボ弁。高応答性、高精度に小型構造。ロボット、半導体製造、アニマトロニクスに最適！
『空圧サーボ弁 J814シリーズ』は、3方弁もしくは4方弁に対応した高トルク、高応答、高精度な小型空気圧サーボ弁です。 指令信号対制御圧力の再現性が良いので、圧力、力、位置や振動の制御に適しています。真空状態を作り出すこともできます。 代表的なアプリケーションはロボット、半導体製造装置、アニマトロニクス、アクティブ除振装置、荷重試験機、内圧制御装置、押し付け力制御装置などです。 【特長】 ■トルクモータを用いた1段型ノズルフラッパ弁 ■高分解能と低ヒステリシス ■小型で軽量、高応答性 ■摺動部がなく頑強で長寿命設計 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
装置の小型化にも貢献！
電気-機械変換部にトルクモータを用いた『ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁』の超小型3方弁のご紹介です。 通常のノズルフラッパ型空気圧サーボ弁と駆動原理は同様次の通りです。 コイルに電流を印可すると、上下磁極との磁気的関係により電流の極性と 大きさに応じたトルクが発生し、アマチュアを傾けます。 ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており、 フラッパの動きに応じて供給側と排気側のノズル部開口が変化することによって空気圧を制御しています。 弁を小さくすることで、搭載する装置全体の小型化にも貢献でき、 また小型のロボット等アニマトロニクス向けにも適していると考えます。 【特長】 ■高速応答(400Hz 以上) ■低駆動電流 ■高い分解能・低いヒステリシス ■摺動部分がなく長寿命 ■小型・軽量・小流量制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
軽量案内弁により高速応答を実現！メカニカルフィードバックを持った2段型サーボ弁
『カフィードバック型空気圧サーボ弁』は、前段部でパワーを 増幅することにより小型化を実現しました。 精密に加工された静圧軸受を備えた軽量案内弁により高速応答が可能。 メカニカルフィードバックを持った2段型サーボ弁が特長です。 定格圧力600kPa、定格電流30mAとなっております。ご用命の際は、 お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■メカニカルフィードバックを持った2段型サーボ弁 ■精密に加工された静圧軸受を備えた軽量案内弁より高速応答を実現 ■前段部でパワーを増幅することにより小型化を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ムービングコイル駆動による精密制御！軽量案内弁による高速応答を実現
当社で取り扱う『VCM駆動（直動型）空気圧サーボ弁』をご紹介します。 電気－機械変換部に可動線輪型フォースモータを用いたスプール型サーボ弁です。 ムービングコイル駆動による精密制御を行い、主に半導体製造設備の分野で活躍しています。（精密位置決めステージ等） 「流量制御 3方弁/5方弁」、「圧力制御 3方弁」をご用意しています。 【特長】 ■大流量 ■高い分解能、低いヒステリシス ■静圧軸受による低誤差、長寿命 ■少ない内部リーク ■軽量案内弁による高速応答を実現 ■デジタルセンサまたはアナログセンサによる位置制御(流量制御弁) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小型・軽量、精密、長寿命！ ※清浄空気であれば基本メンテナンスフリーです！
当社の『ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁』のご紹介です。 比較的小さな流量を高応答で制御できる小型・軽量なサーボ弁です。 ～動作原理～ トルクモータの可動部であるアマチュアはフラッパと一体構造で、フレキシブル管に支持されています。 コイルに電流を印可すると、トルクが発生しアマチュアを傾けます。 ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており、フラッパの動きに応じてノズル部開口が変化することで空気圧を制御しています。 出口部での音速流れを減じることで出力ノイズの小さい安定した絞りを実現した ディスク絞り を搭載した製品もございます。 【特長】 ■摺動部分無し ■高い分解能と高速応答 ■小型・軽量で扱いやすい ■負圧制御構造も対応可能 ※＜適合サーボアンプ＞ 空気圧サーボ弁を最適な状態でご使用いただくために開発されたサーボアンプ「CA250 シリーズ」もございます。 30mA 駆動用アンプにセンサアンプ(LVDT、歪圧力センサ)とプリアンプを構成したことにより簡易的な制御系を構築できるようになりました。 詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
アマチュアはフラッパと一体構造となっており、フレキシブル管に支持されています
ノズルフラッパ型サーボ弁『AS121-106』は、電気－機械変換部に トルクモータを用い、可変抵抗（ノズルフラッパ）と固定抵抗 （スリット絞り）で構成された低ノイズ型4方弁です。 スリット絞りは、可変絞りであるノズルとペアで流路を構成。 縮流絞りである通常のオリフィスに対して、スリット絞りは中心から 外周へのスリットにより拡張流れとし、入口より出口の流れを減速しています。 出口部での音速流れを減じることによって安定した絞りとなり、 制御圧力のノイズを小さくしています。 【仕様】 ■定格圧力：600kPa ■定格流量：28NL/min ■定格電流：100mA ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
