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マグネット方式で操作は簡単・半永久的！フルオープンタイプなので視界は広範囲
当製品は、真空容器内の蒸着物等に対するビューイングポート用の 保護シャッターです。 バタフライ方式のフルオープンタイプなので、視界は広範囲。 RHEED・光・ビーム等のカットにも応用できます。 各部品には電解研磨処理を施し、超高真空領域までの使用が可能です。 【特長】 ■シャッター駆動部にKMMR-34Sが取り付けられている ■サイズは、ICF-70・114・152・203と豊富 ■各種ビューイングポートに対応可能 ■ストッパーにより、任意のオープン角度の設定が可能 ■許容リーク量は≦1.33×10-11Pa・m3/sec ■許容加熱温度は≦200℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
隙間なくクローズ！蒸着物の回り込みや光を遮断する！
『KSVシリーズ』は、ICF-70用・CF-114用のシャッター機構です。 シャッター閉の時、隙間なく閉じる事が可能な、蒸着物等に対する ビューポート用の保護シャッターとなります。 RHEEDスクリーン、光、ビーム等の保護や遮断への応用も可能です。 また、回転導入部はマグネット駆動方式、半永久的に利用可能なほか、 各部品には電解研磨処理を施し、超高真空領域での使用が可能です。 その他のサイズでの製作も可能となりますので、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■シャッター閉の時、隙間なく閉じる事が可能 ■RHEEDスクリーン、光、ビーム等の保護や遮断に応用可能 ■超高真空領域での使用が可能 ■バタフライ方式のフルオープンタイプなので、広範囲の視界を確保 ■回転部のストッパーにより、任意のオープン確度で保持が可能 ■各種ビューポートに対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シャッタースピードは、空圧調整バルブ(標準付属)にて任意に可変可能
ビームシャッター機構は、駆動系に電磁弁制御式のエアシリンダーが装備されており、応答速度の素早い遮断動作・開放動作が可能です。 本製品は、ルビジウム(Rb)やナトリウム(Na)などの原子線ビームを、遮蔽及び開放するシャッター等にて使用されます。 【仕様】 ○シャッター動作スピード 30～800mm/s ○シャッター動作ストローク 0～20mm ○取付けフランジ ICF-70（スルーホール） ○ベーキング温度 200℃（エアシリンダー、電磁弁部除く） ○シャッター動作方向 全方位対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
