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５相パルスモータを、実績のある独自のソフト制御とマイクロステップの組み合わせで、高圧においてもとても滑らかな送液を確立しました。
ＳＬＰ－１０３０型シリンジポンプのシリンジ容量は３０ｍｌで、流量設定範囲は０．５～５００μl/minで、圧力設定範囲は２０MPaまでです。 送液モードは２種類あり、定流量送液と設定圧力維持送液のどちらかを選択することができますので、多様の研究にお手伝いします。 また、シリンジ内容量の残留を表示していますので、バッチ実験を行っている場合はとても便利です。自動バルブも吸引側・吐出側の２台を装備していますので、タイムプラグラムを活用していただくと昼夜運転、シリンジ内のフラッシングの自動運転も可能です。 流体は高粘度までの送液ができる仕様に設計しました。但し、粘性につきましてはご相談ください。 メンテナンスとして、ポンプランニングモードが内蔵しており、最大９９９９時間までの運転時間を積算しますので、日常の確認や定期点検にも役立ちます。
高分注精度が要求されるコーティング装置開発に実績あるテカンのシリンジポンプ。コンパクトでありながら、超頑丈設計。
高価なEUVレジストを無駄にしない流体制御シリンジポンプ スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適です。また、安価でありながら高い再現性（CV値：0.05％）を実現出来ています。 不安定な外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを容易に行わせることが可能です。 1回の送液の液量範囲：2nl～5ml 液量調節単位：最少2nl～ 調節可能な流速範囲：5μl/分～250ml/分 （83nl/秒～4.16ml/秒） 流速調整単位： 208nl/分～ （2nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：2.5ｍlシリンジを装着時 液量調節単位：最少104nl～ 調整可能な流速範囲：250μl/分～125ml/分 （4.1μl/秒～2.08ml/秒） 流速調整単位： 6.24ml/分～ （104nl/秒～） 特徴：エンコーダーによる吐出量と流速の管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。I/O端子で稼働の連動も容易。稼働量記憶機能あり。頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。
高分注精度が要求されるコーティング装置開発に実績あるテカンのシリンジポンプ。コンパクトでありながら、超頑丈設計。
高価なEUVレジストを無駄にしない流体制御シリンジポンプ スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適です。また、安価でありながら高い再現性（CV値：0.05％）を実現出来ています。 不安定な外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを容易に行わせることが可能です。 1回の送液の液量範囲：2nl～5ml 液量調節単位：最少2nl～ 調節可能な流速範囲：5μl/分～250ml/分 （83nl/秒～4.16ml/秒） 流速調整単位： 208nl/分～ （2nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：2.5ｍlシリンジを装着時 液量調節単位：最少104nl～ 調整可能な流速範囲：250μl/分～125ml/分 （4.1μl/秒～2.08ml/秒） 流速調整単位： 6.24ml/分～ （104nl/秒～） 特徴：エンコーダーによる吐出量と流速の管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。I/O端子で稼働の連動も容易。稼働量記憶機能あり。頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。
高分注精度が要求されるコーティング装置開発に実績あるテカンのディスペンスポンプ。コンパクトでありながら、超頑丈設計。
高価なEUVレジストを無駄にしない流体制御シリンジポンプ スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適です。また、安価でありながら高い再現性（CV値：0.05％）を実現出来ています。 不安定な外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを容易に行わせることが可能です。 1回の送液の液量範囲：2nl～5ml 液量調節単位：最少2nl～ 調節可能な流速範囲：5μl/分～250ml/分 （83nl/秒～4.16ml/秒） 流速調整単位： 208nl/分～ （2nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：2.5ｍlシリンジを装着時 液量調節単位：最少104nl～ 調整可能な流速範囲：250μl/分～125ml/分 （4.1μl/秒～2.08ml/秒） 流速調整単位： 6.24ml/分～ （104nl/秒～） 特徴：エンコーダーによる吐出量と流速の管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。I/O端子で稼働の連動も容易。稼働量記憶機能あり。頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。
送液の高い再現性と細かい流量制御で半導体や電子部品のメッキ液管理を理想的に
セミアディティブ工法にも十分に対応、高い再現性と簡単な精密流速調整、安価にCV0.05％を実現 外部圧力に依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml 液量調節単位：最少1nl～ （※） 流速範囲：0.3μl/分～ （5.2nl/秒～） 流速調整単位： 63nl/分～ （1nl/秒）（※） ※装着しているシリンジ容量による 例：250μlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少5nl～ 可能な流速調節範囲：1.6μl/分～12.5ml/分 （26nl/秒～208μl/秒） 流速調整単位： 313nl/分～ （5nl/秒） 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～ 可能な流速調節範囲：62.5μl/分～500ml/分 （1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位： 12.5μl/分～ （0.2μl/秒～） 頑丈設計で装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能 6000もしくは48,000ステップ 液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。
送液の高い再現性と細かい流量制御で半導体や電子部品のメッキ液管理を理想的に
セミアディティブ工法にも十分に対応、高い再現性と簡単な精密流速調整、安価にCV0.05％を実現 外部圧力に依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml（※） 液量調節単位：最少1nl～ （※） 流速範囲：0.3μl/分～ （5.2nl/秒～） 流速調整単位： 63nl/分～ （1nl/秒～）（※） ※装着しているシリンジ容量による 例：250μlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少5nl～ 可能な流速調節範囲：1.6μl/分～12.5ml/分 （26nl/秒～208μl/秒） 流速調整単位： 313nl/分～ （5nl/秒～） 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～ 可能な流速調節範囲：62.5μl/分～500ml/分 （1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位： 12.5μl/分～ （0.2μl/秒～） 頑丈仕様で装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能 6000もしくは48,000ステップ 液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。
吐出液の流速を0.3μl/分で調節可能、ナノリットルレベルの液量調整で高価なフォトレジスト使用量を最少に！
スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適。 安価と高い再現性（CV値：0.05％を実現） 外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml 液量調節単位：最少1nl～ 流速範囲：0.3μl/分～ （5.2nl/秒～） 流速調整単位： 63nl/分～ （1nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～ 調節可能な流速範囲：62.5μl/分～500ml/分 （1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位： 12.5μl/分～ （0.2μl/秒～） エンコーダーによる吐出量と速度の徹底管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。 I/O端子付きで稼働の連動も容易。稼働量記憶機能でメンテナンスも容易に。 頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能 コマンドで6000もしくは48,000ステップ。液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。
