薄膜形成や、成膜プロセスの各種問題を解決!『吐出装置』
デッドボリュームの少ない成膜が可能! スピンコーターの代替に好適!【無料吐出可否テスト実施中】
「InkjetLabo」は、シンプル&多機能なインクジェット式吐出装置です。 この装置により、成膜プロセスで発生する以下の各種問題点が解決出来ます。 1.デッドボリュームを減らしたい! 2.コーヒーリング現象を回避したい! 3.塗布基材の形状が平面でなかったり、立体構造への塗布がしたい! 4.基板エッジに液だまり発生させたくない! 5.吐出する溶液に熱を加えたくない! また、全面塗布する必要が無い場合は、パターニングにより任意の箇所のみ塗布が可能で、その際のマスク(版)は不要です。 更に、非接触塗布のため、薄膜フィルムにストレスを加えずに塗布することが可能です。 1滴がpリットルと微量なため、乾燥が早く、乾燥工程を省略することも出来ます。 これにより、加熱せずに基材の結晶膜を生成することが可能です。 ※詳細はカタログのダウンロードお願いします。 webミーティングも随時受付中、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:クラスターテクノロジー株式会社 本社
- 価格:100万円 ~ 500万円