スキャナー検査システム - メーカー・企業と製品の一覧

ＭＥＭＳスキャナ検査システム

インライン検査に最適、ＭＥＭＳスキャナ検査システム

ＭＥＭＳ光学スキャナの光学、電気特性を測定する生産ライン用、研究開発用の検査装置です。 レゾナントタイプの共振特性やドリフトも測定可能です。 最大振り角計測には新方式の時間計測方式で検査タクトの短縮が図れます。 インターフェースは電磁駆動方式、静電駆動方式、ピエゾ方式のいずれも可能です。 コンパクト設計でインライン検査に最適です。 ○ウォブル測定（３角スリット時間変化検出方式） 　　測定分解能　　１マイクロｍ 　　測定範囲　　３０分 　　ビーム速度　　毎秒４０００ｍ以下 ○ジッタ測定（２点間タイムインターバル検出方式） 　　設定位置　　任意設定（プラスマイナス５０度） 　　測定分解能　　０．１ｎｓ ○最大振角計測　　測定分解能　０．１ｎｓ ○共振周波数　　測定分解能　０．１ｎｓ ○温度　　測定分解能　０．１度

• 企業：エーエルティー株式会社
• 価格：応相談

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