インライン検査に最適、ＭＥＭＳスキャナ検査システム
ＭＥＭＳ光学スキャナの光学、電気特性を測定する生産ライン用、研究開発用の検査装置です。 レゾナントタイプの共振特性やドリフトも測定可能です。 最大振り角計測には新方式の時間計測方式で検査タクトの短縮が図れます。 インターフェースは電磁駆動方式、静電駆動方式、ピエゾ方式のいずれも可能です。 コンパクト設計でインライン検査に最適です。 ○ウォブル測定（３角スリット時間変化検出方式） 測定分解能 １マイクロｍ 測定範囲 ３０分 ビーム速度 毎秒４０００ｍ以下 ○ジッタ測定（２点間タイムインターバル検出方式） 設定位置 任意設定（プラスマイナス５０度） 測定分解能 ０．１ｎｓ ○最大振角計測 測定分解能 ０．１ｎｓ ○共振周波数 測定分解能 ０．１ｎｓ ○温度 測定分解能 ０．１度
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基本情報
ＭＥＭＳ光学スキャナの光学、電気特性を測定する生産ライン用、研究開発用の検査装置です。 レゾナントタイプの共振特性やドリフトも測定可能です。 最大振り角計測には新方式の時間計測方式で検査タクトの短縮が図れます。 インターフェースは電磁駆動方式、静電駆動方式、ピエゾ方式のいずれも可能です。 コンパクト設計でインライン検査に最適です。 ○ウォブル測定（３角スリット時間変化検出方式） 測定分解能 １マイクロｍ 測定範囲 ３０分 ビーム速度 毎秒４０００ｍ以下 ○ジッタ測定（２点間タイムインターバル検出方式） 設定位置 任意設定（プラスマイナス５０度） 測定分解能 ０．１ｎｓ ○最大振角計測 測定分解能 ０．１ｎｓ ○共振周波数 測定分解能 ０．１ｎｓ ○温度 測定分解能 ０．１度
価格情報
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納期
用途／実績例
レーザプリンタ用ＭＥＭＳスキャナ検査 レーザプリンタ用ＭＥＭＳスキャナ搭載ＬＳＵ検査 その他 MEMS光学スキャナ検査
この製品に関するニュース（5）
企業情報
レーザ光学の応用技術をベースに機構、電気、ソフトを含めた設計開発、製造を総合的に行うオプトメカトロニクスの技術集団です。 私たちはレーザ光の応用、そのなかでも特にレーザスキャンに挑戦してまいります。
