【国内設計・製造】半導体、成膜用スパッタリング電源
安定した成膜プロセスに！出力1.5～20kW、柔軟なユニット連結で最大300kWまで対応。アークサプレッサオプションも選択可能。
当社の「成膜（スパッタリング）用電源」は、安心の国内設計・製造による高信頼性のDC電源です。 低故障率で長期稼働が可能なため、安定した薄膜形成、成膜プロセスを支えます。 ユニット出力は1.5kW～20kWの幅広いラインナップを揃え、複数ユニットを組み合わせることで、 最大300kWまでの大容量構成にも対応可能。ニーズに応じて柔軟にスケールアップできます。 スパッタリング装置、半導体製造装置にご活用いただけます。 【特長】 ■ DCスパッタリング、半導体成膜用電源 ■ 国内設計・製造による高信頼性とサポート対応の容易さ ■ 用途に合わせて適切な出力容量の製品を選択可能 ■ 低故障率で長期稼働が可能 ■ アーク時高速遮断（1μs以内）でプロセスを安定化 ■ 低アークエネルギー（1mJ/kW未満）で成膜品質を維持 ■ オプションでアークサプレッサ対応 海外製品の値上げやサポート対応の不安がある中、国内製造ならではの安心感と柔軟な運用性が特長です。 詳細は下記の「カタログをダウンロード」よりご確認いただけます。
- 企業：株式会社オリジン
- 価格：応相談
