安定した成膜プロセスに！出力1.5～20kW、柔軟なユニット連結で最大300kWまで対応。アークサプレッサオプションも選択可能。
当社の「成膜（スパッタリング）用電源」は、安心の国内設計・製造による高信頼性のDC電源です。 低故障率で長期稼働が可能なため、安定した薄膜形成、成膜プロセスを支えます。 ユニット出力は1.5kW～20kWの幅広いラインナップを揃え、複数ユニットを組み合わせることで、 最大300kWまでの大容量構成にも対応可能。ニーズに応じて柔軟にスケールアップできます。 スパッタリング装置、半導体製造装置にご活用いただけます。 【特長】 ■ DCスパッタリング、半導体成膜用電源 ■ 国内設計・製造による高信頼性とサポート対応の容易さ ■ 用途に合わせて適切な出力容量の製品を選択可能 ■ 低故障率で長期稼働が可能 ■ アーク時高速遮断（1μs以内）でプロセスを安定化 ■ 低アークエネルギー（1mJ/kW未満）で成膜品質を維持 ■ オプションでアークサプレッサ対応 海外製品の値上げやサポート対応の不安がある中、国内製造ならではの安心感と柔軟な運用性が特長です。 詳細は下記の「カタログをダウンロード」よりご確認いただけます。
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基本情報
【仕様】 ■出力電圧-800V ■出力電流40A ■出力電力 1.5kW～20kW ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体成膜用電源 ■スパッタリング用電源 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、電源機器や半導体デバイス、精密機構部品、システム機器及び 合成樹脂塗料の製造販売を行っている企業です。 精密機構部品、塗料、電源装置、接合・塗布/貼合 装置・ギ酸リフロー、 パワー半導体の5事業体制による強みを活かし、お客様との コミュニケーションを大切にする「提案型の製品開発」を実施。 また、開発の過程でコンサルティングや対話を通して、お客様が要請する 機能を満たすに留まらず、付加価値をつけた、新しい満足を提供いたします。
