スパッタ電源 - メーカー・企業と製品の一覧

空冷　小型スパッタ電源

ドイツ・ADL社製の、空冷式の小型スパッタ電源です。

「GSシリーズ：GS05-GS30」は、 容量0.5 kWから 3 kWまでをカバーした全11型式がございます。主に研究開発用の小型スパッタ装置をターゲットにした製品です。すべて空冷式であり、煩わしい冷却水を導入する必要がございません。

• 企業：株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
• 価格：50万円 ~ 100万円

• その他半導体
• その他光学部品
• エンドミル