枚葉式スピン洗浄装置
多彩なチャンバー形態で様々なプロセスニーズに対応！ワークサイズは2インチ～12インチウェハ
「枚葉式スピン洗浄装置」は、超音波スプレーノズル、二流体スプレー ノズル、高圧JETノズル、オゾン水なども搭載可能で、用途に合わせた 処理が可能な製品です。 ワークサイズは、2インチ～12インチウェハに対応します。 また500mm角までの角基板にも対応可能(要ご相談)。 酸系・アルカリ系・有機系の各プロセスモジュールによる 装置構成ができます。 【特長】 ■多彩なチャンバー形態で、様々なプロセスニーズに対応 ■ワークサイズは、2インチ～12インチウェハに対応 ■500mm角までの角基板にも対応可能(要ご相談) ■酸系、アルカリ系、有機系の各プロセスモジュールによる装置構成が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社LC
- 価格：応相談
