ソフトウェア『HyperLith(TM)』
使いやすくパワフルなリソグラフィ・シミュレーション・ソフトウェア
『HyperLith(TM)』は、スカラ計算と厳密解、 EUVおよびDUVテクノロジーに対応したソフトウェアです。 LiveView GUIで概略のシミュレーション結果を予測。 また、GDSエクスポートの新機能により、プログラムした一連の パターンをGDSファイルにエクスポートできるようになったので テストマスクの作成に役立てることができます。 【特長】 ■Polarization、Aberrations、Resistをサポ―ト ■ハードウェア加速処理機能、並列処理機能、分散処理計算機能のサポート ■WindowsとLinuxをサポート ■.simファイルとしてEM-Suiteへexport ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社インターソフト 本社
- 価格:応相談