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デッドスペースが最小の構造で背圧にも強い堅牢なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。
半導体製造装置・半導体工場サブファブ・半導体向け化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。 特に世界中の半導体工場サブファブ(薬液供給・CMP供給)で活躍しております。 【製品特徴】 コンパクト 耐久性…500万回以上の開閉に耐えられます。 流れやすい…特徴的な流路でスムーズな流れを実現します。デッドスペース最小 堅牢な構造…PVDF製のアクチュエーターを採用。耐薬品性も高いです。 安全設計…補助スプリングを採用で、長期間使用による樹脂の変形でもしっかりとシール性を実現します。 最高使用温度200℃の仕様でも製作できます。標準で開度調整、ポジションインジケーターを搭載しています。 ブロックバルブとしても使用でき、完全オーダーメイドでロット数1から販売可能です。(※画像参照) ぜひお気軽にお声掛けください。
真空、高温/低温、高頻度ラインなどのアグレッシブな環境に対応した非常に耐久性の高いライニングバルブ。
PFAライニング配管をご使用のお客様に、 短納期で供給可能な ”PFAライニングダイアフラム” をご提案しています！ 昨今フッ素樹脂素材の調達が世界体に大きく乱れている状況において、 PFAライニングダイアフラムの調達にお困りのケースを良く聞きます。 その中で、ダイアフラムバルブ供給における世界的サプライヤーであるGEMUに対して、PFAライニングダイアフラムのお問い合わせが増加しています。 【GEMU PFAライニングダイアフラムの特長】 ・接液部は全てPFA、PTFEで高純度薬液、腐食性流体に適しています。 ・ダイアフラムの耐久性が高く、長期間の使用に耐えられる設計です。 ・スパークテストを全てのロットで実施しており、静電破壊に対して対策しております。 ・電動、手動、自動など様々なアクチュエーターが搭載可能です。 ・SUS、樹脂など用途に合わせて材質の選択が可能です。 ・各種アンサーバック用スイッチ、流量制御が可能なコントローラー付のオプションもございます。 ・PFAライニングの厚みは3mm前後になっており、耐浸透に強い設計です。
