デッドスペースが最小の構造で背圧にも強い堅牢なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。
半導体製造装置・半導体工場サブファブ・半導体向け化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。 特に世界中の半導体工場サブファブ(薬液供給・CMP供給)で活躍しております。 【製品特徴】 コンパクト 耐久性…500万回以上の開閉に耐えられます。 流れやすい…特徴的な流路でスムーズな流れを実現します。デッドスペース最小 堅牢な構造…PVDF製のアクチュエーターを採用。耐薬品性も高いです。 安全設計…補助スプリングを採用で、長期間使用による樹脂の変形でもしっかりとシール性を実現します。 最高使用温度200℃の仕様でも製作できます。標準で開度調整、ポジションインジケーターを搭載しています。 ブロックバルブとしても使用でき、完全オーダーメイドでロット数1から販売可能です。(※画像参照) ぜひお気軽にお声掛けください。
この製品へのお問い合わせ
関連動画
基本情報
製品名：iComLine 空気操作式：C50 手動式(マルチターン)：C57 手動式(トグル)：C51 サイズ：1/4" ～ 1-1/4" 接続：フレア、Pillar Super 300、PrimeLock、Nexus Connect、他も特殊で対応。 本体材質：PTFE、 PFA ダイアフラム材質：PTFE 作動：手動、 ノーマルクローズ、ノーマルオープン アクチュエーター材質：PVDF 適応流体：腐食性・不活性の気体および液体 流体温度：-10 ～ 150℃(特殊品で200℃対応) 使用圧力：Max 0.6MPa 真空許容範囲： 周囲温度：Max 60℃
価格情報
お気軽にお問い合わせください。
納期
用途／実績例
・LEDや集積回路製造での高純度ケミカルの供給輸送 ・半導体製造のウェットプロセスにおけるケミカルサプライ ・化学物質の精密ドーシング ・排水処理システムの薬剤注入工程
詳細情報
-
マニフォールド設計 コンパクトなマニフォールドにすることで従来の配管設計と比較して大幅な省スペース化を実現！ 個別のアプリケーションに合わせて柔軟にカスタマイズできます。
カタログ（3）
カタログをまとめてダウンロード
この製品に関するニュース（1）
企業情報
GEMÜ（GEMU）は最先端の製造工場における新技術開発力で価値を提供します。 私たちは世界中の製薬業界と強い繋がりを持ち、バルブ開発・改良に取り組んできました。その中で、無菌性が必須の「サニタリーダイアフラムバルブ」や、高い制御精度が求められる「半導体製造に特化したバルブ」等、多くの製品を取り揃えるに至りました。 全世界6か所の製造拠点を設け、世界50ヶ国以上でサービスを提供しています。 サニタリーバルブ市場においてリーディングカンパニーとして、多くのプラントで採用頂いています。 研究開発には積極的に取り組み、毎年売上の5％以上が開発投資に回されています。 おかげさまで、ドイツの経営経済研究所（IMWF）よりデジタル化を推進するテクノロジー企業として表彰されています。
