スラリーなどの研磨性流体に最適・液溜まりを最小限に抑えたフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ
半導体製造装置・薬液供給装置・化学工場のフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブです。抵抗の少ない構造である為、サイズによっては他社比較2倍以上の流量能力がございます。また,液溜まりの少ないボディ形状によりコンタミネーションのリスクが抑えられております。装置内をコンパクトに設計できるようT弁、3方弁タイプなども標準で用意をしています。
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基本情報
CleanStar 空気操作式：C60 手動式：C67 サイズ：1/4 ～ 1-1/4インチ 接続：フレア、Pillar Super 300(スペースセイバー)、PrimeLock、Nexus Connect、付け合せ溶着、ユニオン腐食性・不活性の気体および液体 ボディ材質：PFA、PP-H、PVDF ダイアフラム材質：PTFE/EPDM 作動：ノーマルクローズ、ノーマルオープン、手動 アクチュエーター材質：PVDF 使用可能温度：-10～150℃ 使用流体圧力：0～0.6Mpa 真空許容範囲：400mbar/abs 周囲温度：0～60℃ ・リミットスイッチ、ポジショナーの取り付けが可能
価格帯
納期
用途／実績例
・ウェハーの洗浄,エッチング,コーティング工程 ・CMPスラリーの混合,輸送,供給 ・水処理および排水処理の薬剤注入工程 ・半導体製造のウェットプロセスにおけるケミカルサプライ ・医薬品,食品,バイオテクノロジー分野の二次工程 ・高純度溶剤の供給
詳細情報
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3方切替え弁タイプ デッドスペースを最小化した3方切替えバルブです。 ミキシングバルブやマニフォールドバルブとしてお使い頂けます。
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T型ボディタイプ 液溜まりを最小限に抑えるT字型構造で,Tフィッティングを1つ節約できます。サンプリングバルブとして使用可能です。
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High-Flowボディタイプ Cv値が標準品から最大2倍アップする,大流量タイプのボディです。
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
GEMÜ（GEMU）は最先端の製造工場における新技術開発力で価値を提供します。 私たちは世界中の製薬業界と強い繋がりを持ち、バルブ開発・改良に取り組んできました。その中で、無菌性が必須の「サニタリーダイアフラムバルブ」や、高い制御精度が求められる「半導体製造に特化したバルブ」等、多くの製品を取り揃えるに至りました。 全世界6か所の製造拠点を設け、世界50ヶ国以上でサービスを提供しています。 サニタリーバルブ市場においてリーディングカンパニーとして、多くのプラントで採用頂いています。 研究開発には積極的に取り組み、毎年売上の5％以上が開発投資に回されています。 おかげさまで、ドイツの経営経済研究所（IMWF）よりデジタル化を推進するテクノロジー企業として表彰されています。
