フッ素樹脂ダイアフラムバルブ(真空配管) - メーカー・企業と製品の一覧

iComLine フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

デッドスペースが最小の構造で背圧にも強い堅牢なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。

半導体製造装置・半導体工場サブファブ・半導体向け化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。特に世界中の半導体工場サブファブ(薬液供給・CMP供給)で活躍しております。【製品特徴】コンパクト耐久性…500万回以上の開閉に耐えられます。流れやすい…特徴的な流路でスムーズな流れを実現します。デッドスペース最小堅牢な構造…PVDF製のアクチュエーターを採用。耐薬品性も高いです。安全設計…補助スプリングを採用で、長期間使用による樹脂の変形でもしっかりとシール性を実現します。最高使用温度200℃の仕様でも製作できます。標準で開度調整、ポジションインジケーターを搭載しています。ブロックバルブとしても使用でき、完全オーダーメイドでロット数1から販売可能です。(※画像参照) ぜひお気軽にお声掛けください。