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半導体・薬品関係などに！流量調整機構に差動ネジを採用したダイアフラムバルブ
『PSDXシリーズ』は、流量調整機構に差動ネジを採用し、 分解能を向上したダイアフラムバルブです。 流量変化量を緩やかにし、流量調整が容易になりました。 また、接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用し、 アクチュエーター部の材質はPVDFとなっています。 【特長】 ■エアオペレートバルブ ■流量調整機構に差動ネジを採用 ■分解能を向上したダイアフラムバルブ ■接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用 ■アクチュエーター部の材質はPVDF ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
研磨性スラリーのハンドリングに最適なバルブをご提案
スラリーのハンドリングは,主に3ステップに分けられます。 ・調整と混合 ・供給と輸送 ・除去と回収 GEMÜ製品は抵抗の少ないシート形状で,バルブと流体の双方に負荷をかけない設計となっています。 接液部の材質はすべてPTFEまたはPFAとし,十分な耐薬品性を備えるとともに,砥粒を含むスラリーの研磨性に対しても高い耐久性を持ちます。
溶剤供給システム向けのバルブをご提案
半導体産業では,物質の溶解や洗浄のために有機溶剤が使用されています。 洗浄に用いられる溶剤は特に腐食性が強く,取り扱いが困難なため,バルブには高い耐薬品性が求められます。 GEMÜは高いKv値と耐薬品性を兼ね備えた製品群を提供致します。 製品は純度を保つため,原則としてステンレスおよびPFAで製作しています。
シングルユース新時代の幕開け。ダイアフラムバルブの性能を、そのままシングルユース！制御性と安全性の向上を実現。
全世界でニーズが爆増するシングルユース設備において、 流体制御クオリティを格段に上昇させるのが「シングルユースダイアフラムバルブ」 従来のピンチバルブ（チューブを潰す）では出来なかった流量制御を可能に！ 【特長】 ・流体制御性 ・デッドレグ削減 ・製品安全性向上 ・実績のあるアクチュエーター搭載 ・エア式、電動式など様々な作動に対応 詳細は資料をご覧頂くか、お問い合わせください。
アクチュエータの材質にPPを採用！エアオペレートバルブのSDシリーズをご紹介
『SDシリーズ』は、接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用し、 耐薬品性・耐久性に優れているダイアフラムバルブです。 当社独自のシンプルな流路構造を採用し、アクチュエータ部の材質は、 PPを使用。 バルブ動作状態が確認できるインジケータを標準採用しました。 （流量調整付き仕様は除く） 【特長】 ■エアオペレートバルブ ■インジケータを標準装備 ■アクチュエータの材質はPPを採用 ■接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アクチュエータの材質にPPを採用！操作性に優れ、省スペース取り付けが可能
『SSVシリーズ』は、シャット機能とサックバック機能を一体化した サックバックバルブです。 接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用し、耐薬品性・耐久性に 優れています。また、操作性に優れ、省スペース取り付けが可能。 オプションでサックバック量調整付もご提案できます。 【特長】 ■シャット機能とサックバック機能を一体化 ■アクチュエータの材質にPPを採用 ■接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用 ■操作性に優れている ■省スペース取り付けが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アクチュエータの材質にPVDFを採用！シャット機能とサックバック機能を一体化しました
『PSSシリーズ』は、操作性に優れ、省スペース取り付けが可能な ダイアフラムバルブです。 シャット機能とサックバック機能を一体化。 オプションでサックバック量調整付もご提案できます。 また、アクチュエータ部の材質は、PVDFを採用したガス透過対策品で、 接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用しました。 【特長】 ■シャット機能とサックバック機能を一体化 ■アクチュエータの材質にPVDFを採用 ■接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用 ■操作ポートの上出し仕様もラインアップ ■操作ポートは、ワンタッチ継手付きのため、チューブ接続が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
バルブのお悩み解決します！
Q：手動ハンドルを所定の位置に設定後、意図せず動いてしまい、開度が変わってしまうことがある。 そんな手動ハンドルを動かないようにする方法は？ A：GEMU手動ダイアフラムバルブ653・654型には、ハンドルロック付きの仕様があり、 所定の位置で固定し、必要な時だけ開度を調整できるものがあります。 ※機械式ではなく、ソレノイドバルブを使用してロックする電気式の仕様もあり、 詳しくは取扱説明書をご覧ください。
業界唯一！空気操作式バルブに代わる「GEMU 電動バルブ技術」
【特長】 ● 非常に高い開度調整精度（最大流量に対して≤ ±0.3%） ● エネルギー効率に優れた，空圧作動システムの代替案 ● 空気操作式バルブ＋ポジショナーのよるコントロールバルブよりも廉価 ● 高い製品寿命で50万回の開閉に耐久 ● 様々なバルブボディと組み合わせて使用可能（ダイアフラムバルブ，グローブバルブ、ダイアフラムグローブバルブ） ● プロセスデータ，パラメータ設定，診断データを集積 ● マルチポートブロックバルブにて優位性を発揮
デッドスペースが最小の構造で背圧にも強い堅牢なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。
半導体製造装置・半導体工場サブファブ・半導体向け化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。 特に世界中の半導体工場サブファブ(薬液供給・CMP供給)で活躍しております。 【製品特徴】 コンパクト 耐久性…500万回以上の開閉に耐えられます。 流れやすい…特徴的な流路でスムーズな流れを実現します。デッドスペース最小 堅牢な構造…PVDF製のアクチュエーターを採用。耐薬品性も高いです。 安全設計…補助スプリングを採用で、長期間使用による樹脂の変形でもしっかりとシール性を実現します。 最高使用温度200℃の仕様でも製作できます。標準で開度調整、ポジションインジケーターを搭載しています。 ブロックバルブとしても使用でき、完全オーダーメイドでロット数1から販売可能です。(※画像参照) ぜひお気軽にお声掛けください。
短納期、低コストな高耐薬品性PVDF製バルブをご用意しております！
高耐薬性を備えたPVDF製ダイアフラムバルブを販売しております。酸性・アルカリ性の強い薬品を扱うライン、半導体製造装置など耐薬品性が求められるアプリケーションで使用されています。弊社の製品の特長は接液部はPVDF製、外部は耐薬性の高い強化PPの二層構造を採用しています。その特徴により、 ・PVDF樹脂の使用量低減 ・短納期 ・低コスト生産 ・PVDFと同等の耐薬品性 を実現しています。 その他にも、 ダイアフラムの交換が簡単に行える 直線的な流路構造で高Kv値を実現 液だまりの少ない構造 ポジションインジケーターを標準で搭載、リミットスイッチ、流量調整用のポジショナーも搭載可能 などメンテンナス性、様々な制御に関しましてもメリットがあります。 手動・空気操作式・電動を取り扱っております。また洗浄オプションも可能で、高純度(半導体製造ライン)向けも対応しております。 またブロックバルブソリューションで装置のコンパクト化、メンテナンス性の向上も可能です。
