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スプリングレスダイヤフラム構造の採用でパーティクルを低減！ハイフロータイプをラインアップしています
『NRDシリーズ』は、新型高出力アクチュエータと内ネジボディ構造を採用し シンプルでコンパクトなデザインを追求した高圧ダイヤフラムバルブです。 高圧に対応するバルブとして少流量から大流量タイプまでの 幅広い流量レンジをラインアップ。 全シリーズ スプリングレスダイヤフラム構造としパーティクルを低減しました。 【特長】 ■スリムでコンパクトなデザイン ■ハイフロータイプをラインアップ ■スプリングレスダイヤフラム構造を採用 ■高圧ガス大臣認定品の対応が可能（オプション） ■特殊仕様、ブロックバルブ対応（オプション） ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大流量供給システムに最適！安全・高耐久・パーティクルフリーを実現した高圧対応の自動バルブ
『NRHD8Cシリーズ』は、Cv1.0 ハイフロータイプの自動バルブです。 ＃空圧 新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現。 フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの 大流量供給システムに好適です。 【特長】 ■Cv1.0 ハイフロータイプ ■新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現 ■フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの 大流量供給システムに好適 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
安全・高耐久・パーティクルフリーを実現！アクチュエータをスリム化した高圧対応の自動バルブ
『NRMD8Cシリーズ』は、Cv0.75 ミディアムフロータイプの自動バルブです。 ＃空圧 BSGS（特殊材料ガス大量供給装置)・GS等の高圧ガス機器向けに アクチュエータをスリム化。 新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現しました。 【特長】 ■Cv0.75 ミディアムフロータイプ ■BSGS・GS等の高圧ガス機器向けにアクチュエータをスリム化 ■新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現 ※※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
「KDシリーズ」の基本性能を受け継ぎ、20％縮小化を実現！半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能！
『VLCDシリーズ』は、基本性能は従来の「KDシリーズ」の性能を 受け継いだまま、部品の共通化を実施したダイヤフラムバルブです。 各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現。 洗浄工程、検査工程は、従来品と同等のため、半導体、FPD、LED用 製造装置等へご使用いただけます。 【特長】 ■従来の「KDシリーズ」の性能を受け継いだまま、部品の共通化を実施 ■外観サイズを従来品の「KDシリーズ」に対し、20％縮小化を実現 ■各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現 ■半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能 ＃空圧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に！全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化
『VRDシリーズ』は、封入ガス圧20.6MPaに対応する1/4 高圧用 ダイレクトダイヤフラムバルブです。 従来品の「RDシリーズ」の性能そのままに、部品点数の削減を行い 低プライス化を実現。全サイズの高さを従来品より6mm短縮し コンパクト化しています。 高圧及び高度の真空保持や外気への漏れを完全に防止したい ガスラインや装置内配管等にご使用いただけます。 【特長】 ■封入ガス圧20.6MPaに対応 ■従来品の性能そのままに、部品点数の削減を行い低プライス化を実現 ■「RDシリーズ」に比べ操作トルクの低減を行っている ■全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化 ■低トルク、コンパクト化を実現したことにより今まで以上に使いやすい ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ヒューマンエラーによるバルブ誤操作防止を目的に開発された中間開度がなく、必ず OPEN または CLOSE 状態を保持するバルブ
株式会社キッツエスシーティーが取り扱う、半導体製造向け高純度ガス系バルブ『クイックターンバルブ』をご紹介します。 接続継手が1/4 CVCオスの「KD4QTS-VC」をはじめ、「KD8QTS-VC」、 「KD4QTS-VFC」、「KD8QTS-VFC」など多彩なラインアップをご用意。 中間開度がなく、必ず OPEN または CLOSE 状態を保持し、バルブの半開など、ヒューマンエラーによるバルブ誤作動の防止に役立ちます。 【特長】 ■蝶型ハンドルにより、操作性が向上 ■中間開度がなく、必ず OPEN または CLOSE 状態を保持 ■バルブの半開防止に役立つ ※KITZ SCTでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造用の高純度液体材料に対応可能！ダイヤフラムバルブの高性能特性を持ったバルブ！
『WD』は、半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を 流体として使用できるダイヤフラムバルブです。 バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、 シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能としました。 また、アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに 対応可能です。 【特長】 ■半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用可能 ■パージ特性等を維持しながら、シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能 ■材料容器の封止バルブに対し、メンテナンス性能の向上とランニングコストダウンに有効 ■シート（ASSY）部交換治具は「WD4手動弁シリーズ」と共通 ■アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズは、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。
高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズ（高温リプレイサブルバルブ）は、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 お客様自身でバルブシート交換が可能！ ・材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に好適です。 ※ メンテナンス後は製品保証外となります ・高温環境下で使用可能！ ZD series：200℃まで、ZD-K series：250℃までの高温環境下で使用できます。 【特長】 ■サイズ：1/4 1/2 ■駆動方法：自動 手動（ZD-Kのみ） KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
材料容器・半導体製造プロセスに適した、高純度ガス系バルブ。シート部脱着交換可能かつ、最高250度までの高温環境下で使用可能。
高純度ガス系バルブ『ZDシリーズ』『ZD-Kシリーズ』（高温リプレイサブルバルブ）は、 シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 【特長】 ■お客様自身でバルブシート交換が可能！ バルブ内洗浄の際などにシート部のみの脱着交換が可能なためバルブを再利用できます。材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に適しています。 ※メンテナンス後は製品保証外となります ■高温環境下で使用可能！ 流体が通る内部だけでなく、外部も高温環境に耐性があります。 『ZDシリーズ』200℃まで、『ZD-Kシリーズ』250℃までの高温環境下で使用できます。 ■PFAシート採用による耐久性能の向上 メタルシートからPFAシートに変更することで、耐久性能を約16倍向上 ※ ※当社実績値比較 ※メタルシート：5万回、ZD-Kシリーズ PFAシート：80万回 当社は半導体製造における流体関連のお悩みに対して様々な提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご参照またはお気軽にお問い合わせ下さい
「KDシリーズ」をベースに更なるコンパクト化を実現！基本性能は「KDシリーズ」を全て受け継いだハイスペックバルブ
『KCDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして更なるコンパクト化を 図ったダイレクトダイヤフラムバルブです。 耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、多くの半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■KDシリーズの内容積1.2cm3に対し、0.97cm3まで小さくする事に成功 ■品種を1/4 サイズに限定しKDシリーズと同じデザインを持ちながら 外観サイズを約20%縮小、重量も軽量化 ■耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現 ■多くの半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及 ＃空圧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造プロセス用高純度ガスに対応！高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求
『KDシリーズ』は、高いCv値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる 品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです。 ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.36cm3まで小さくする事により 優れたガス置換特性を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■内容積を1.36cm3まで小さくする事により優れたガス置換特性を実現 ■高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求 ■厳選されたダイヤフラム素材による高耐蝕性能と、独自の成型方法による 加工により極限まで個体差をなくし、高い耐久性能を実現 ■半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及 ＃空圧 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクト化と低トルク化を実現しました高圧対応のダイヤフラムバルブ！手動弁と自動弁をご用意！
『RDシリーズ』は、高圧に対応するバルブでありながら、コンパクト化と 低トルク化を実現したダイヤフラムバルブです。 「手動弁」は、なめらかな操作感触となっており、一目で開閉状態が 確認できるように、大きい窓と見やすいOPEN/CLOSE表示を採用。 「自動弁」は、ボディとアクチュエーター結合部の剛性をアップして、 信頼性を向上させ、特許を取得しているクサビ式倍力機構を採用することで、 コンパクトで高耐久のアクチュエーターを実現しました。 【特長】 ＜手動弁＞ ■大型ホイールハンドルの採用により、なめらかな操作感触 ■一目で開閉状態が確認できるように、大きい窓と見やすいOPEN/CLOSE表示を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
駆動部品数の最小化、単純化を実現！半導体用高純度ガスに対応し、パーティクル性能を極限まで追求したダイヤフラムバルブ
『VLDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして使いやすさと シンプルさを追求したダイヤフラムバルブです。 基本性能や素材及び洗浄度はそのままで部品の見直しや加工方法の変更及び 部品数を削減し安全で且つ低プライスを実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応し パーティクル性能を極限まで追求しました。 【特長】 ■駆動部品数の最小化、単純化を実現 ■安全で且つ低プライスを実現 ■洗浄工程及び検査工程は従来モデルと同等 ■信頼性及び耐久性性能は変わらない ■半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追求 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
１台で流量調整と全開／全閉の２段階のコントロールを可能とした画期的な複合バルブです。
『ツーステップバルブ』は、1台で手動による流量調整と エアーアクチュエーターによる全開/全閉の2段階のコントロールを 可能とした画期的な複合バルブです。 ニードルではなくダイヤフラムで流体を制御するため、 パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現。 従来システムのバイパス配管や制御機器が不要になり、 大幅なコストダウンと省スペース化が可能です。 【特長】 ■1台で手動による流量の調整とエアーアクチュエーターによる 全開/全閉の2段階のコントロールを可能 ■パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現 ■従来システムのバイパス配管や制御機器が不要 ■大幅なコストダウンと省スペース化が可能 ■使用目的に合わせた好適なCv値が任意で設定できる ※ＫＩＴＺ ＳＣＴでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っています。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
異常圧力が発生した際、配管内の圧力を下げる安全機能付きダイヤフラムバルです。シリンダーキャビネット等の安全対策に！
『KDシリーズ』は、異常圧力が発生した際、配管内の圧力を下げる 安全機能付きダイヤフラムバルブです。 選べるクラッキング圧力(1.0-1.4MPa(G)または1.6-2.0MPa(G))と 接ガス部にスプリング・Oリングが無いパーティクルフリー構造。 シリンダーキャビネット等の安全対策にご使用いただけます。 【特長】 ■配管内がクラッキング圧力以上になると自動的に一次側の 圧力を下げる安全機能が搭載 ■選べるクラッキング圧力(1.0-1.4MPa(G)または1.6-2.0MPa(G)) ■接ガス部にスプリング・Oリングが無いパーティクルフリー構造 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
