マイクロ波ダイヤモンド成膜装置『MDD-2016』
安定な高密度プ ラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成するマイクロ波ダイヤモンド成膜装置!
『MDD-2016』は、高出力(最大5kW)のマイクロ波電源および自動整合器(4Eチューナ) により、安定な高密度プラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成できる装置です。独自のプラズマ制御機能により、プラズマ点灯状態で基板上のプラズマ分布を制御できます。マイクロ波電源はマグネトロン発振( 連続波、パルス波、高安定スペクトル)およびソリッドステート発振など、当社電源ラインアップからお選び頂けます。 【特長】 ■高出力(最大5kW) ■高密度プラズマを発生 ■高品質ダイヤモンドを高速合成 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:日本高周波株式会社
- 価格:応相談