微小ウエハチップ非接触チャック
1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック
□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、トレーに収納します。 搬送、反転、傾斜することが可能です 汚染、損傷、パッド跡の付着がありません。 ウエハ・チップ非接触コレットチャック ◎特徴 １．１〜１５ｍｍ□の微小ウエハチップを非接触にて懸垂把持、トレーに収納、ハンドリングが可能。 ３．トレーよりチップを非接触にて取り出し可能 ３．チップに傷、汚れを付着させない。 ４．チップにパッド跡をつけない。
- 企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
- 価格：50万円 ~ 100万円
