MEMSウエハチップ検査機
高精度クリーンルーム対応のオートレビュー顕微鏡
MEMSウエハの微細なチップ欠陥を検査する、オートフォーカス顕微鏡です。 XYZ電動躯体の本体にオートフォーカス顕微鏡が搭載されています。 ウウエハを載せてソフト駆動でXYZステージを制御してウエハ上の素子チップ検査や欠陥個所の合焦点画像を最適な倍率で入力して検査できます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業:株式会社アイティ・テック
- 価格:応相談
1~1 件を表示 / 全 1 件
高精度クリーンルーム対応のオートレビュー顕微鏡
MEMSウエハの微細なチップ欠陥を検査する、オートフォーカス顕微鏡です。 XYZ電動躯体の本体にオートフォーカス顕微鏡が搭載されています。 ウウエハを載せてソフト駆動でXYZステージを制御してウエハ上の素子チップ検査や欠陥個所の合焦点画像を最適な倍率で入力して検査できます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。