高精度クリーンルーム対応のオートレビュー顕微鏡
MEMSウエハの微細なチップ欠陥を検査する、オートフォーカス顕微鏡です。 XYZ電動躯体の本体にオートフォーカス顕微鏡が搭載されています。 ウウエハを載せてソフト駆動でXYZステージを制御してウエハ上の素子チップ検査や欠陥個所の合焦点画像を最適な倍率で入力して検査できます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
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基本情報
【特長】 1. 高精度クリーンルーム対応のオートレビュー顕微鏡です。 2. LSAFはミラー面から黒面、パターン面から素ガラスまで試料を選びません。 3. 電動レボルバーで2倍～100倍の対物レンズの全てにオートフォーカス合焦画像検査ができます。 ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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新技術の製造・開発をサポートする検査機の試作・自動機・オンライン機をあなたのアイデアとご希望に合わせ一緒に考え製作します。 受注製品のハード・光学系・ソフトの設計および製作メンテナンスからアフターサービスまで提供します。