300mmφウエハ対応の顕微鏡式非接触高さ／段差／厚み測定機
ターゲットの左右ラインの画像検出とZ軸自動制御で半自動に高精度測定ができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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【特長】 ○300mmφウエハ対応の顕微鏡式非接触高さ／段差／厚み測定機です。 ○ターゲットの左右ラインの画像検出とZ軸自動制御で半自動に高精度測定ができます。 ●「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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