静電チャックサポーター
厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入可能！
『静電チャックサポーター』は、極薄ワークを吸着保持して補強する 静電チャックキャリアです。 接着剤を使用せず、電界制御のみで、薄型ウェハーの補強・固定が可能。 コードレスの為、固定した状態で、さまざまなプロセスへの投入が可能で、 厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入できます。 【特長】 ■極薄ワークを吸着保持して補強 ■薄型ウェハーの補強・固定が可能 ■さまざまなプロセスへの投入ができる ■厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：筑波精工株式会社
- 価格：応相談
