厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入可能！
『静電チャックサポーター』は、極薄ワークを吸着保持して補強する 静電チャックキャリアです。 接着剤を使用せず、電界制御のみで、薄型ウェハーの補強・固定が可能。 コードレスの為、固定した状態で、さまざまなプロセスへの投入が可能で、 厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入できます。 【特長】 ■極薄ワークを吸着保持して補強 ■薄型ウェハーの補強・固定が可能 ■さまざまなプロセスへの投入ができる ■厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(抜粋)】 ■対象物の材質：導体・半導体・絶縁体 ■サイズ：～□480mm、t:0.5mm～ ■制御：専用コントローラ ■動作環境：大気～真空 Atmosphere～vacuum 200℃Max. ■吸着動作時間：30sec程度 ■吸着解除時間：5sec以内 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■導体・半導体・絶縁体 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
筑波精工株式会社は、主に静電吸着システムの開発・製造・販売を行っている会社です。当社の静電チャックが、皆様の技術革新歩留まりアップ生産効率改善のお役にたてるよう、試作品から量産品まで、お客様要求仕様にあわせ1Pから製作対応致しますので、お気軽にお問い合わせ下さい。