テラヘルツ分光装置『Tera Evaluator』
4インチ、6インチウェーハの電気特性の計測を非破壊・非接触で実現！
『Tera Evaluator』は、エリプソメトリの技術を導入した 新しいテラヘルツ分光装置です。反射光学系の採用により 不透明な材料の測定に適しています。 4インチ、6インチウェーハ測定用のマッピングステージを標準搭載し、 半導体ウェーハの非接触・非破壊検査を実現しました。 電磁波パルスの電場強度の時間波形を計測することで、電場強度と共に 位相情報も同時に計測。リファレンスとサンプルでの時間波形の違いを 解析することにより、サンプルの複素誘電率（複素屈折率）の 周波数依存性を得ることができます。 【特長】 ■キャリア濃度・移動度を非破壊・非接触で測定 ■テラヘルツ領域の複素誘電率を計測可能 ■液体試料も測定可能 ■解析用ソフトウェア：THz Analysisを標準搭載 ■レーザーの外部入力が可能なシステムを構築 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日邦プレシジョン株式会社
- 価格：応相談
