4インチ、6インチウェーハの電気特性の計測を非破壊・非接触で実現！
『Tera Evaluator』は、エリプソメトリの技術を導入した 新しいテラヘルツ分光装置です。反射光学系の採用により 不透明な材料の測定に適しています。 4インチ、6インチウェーハ測定用のマッピングステージを標準搭載し、 半導体ウェーハの非接触・非破壊検査を実現しました。 電磁波パルスの電場強度の時間波形を計測することで、電場強度と共に 位相情報も同時に計測。リファレンスとサンプルでの時間波形の違いを 解析することにより、サンプルの複素誘電率（複素屈折率）の 周波数依存性を得ることができます。 【特長】 ■キャリア濃度・移動度を非破壊・非接触で測定 ■テラヘルツ領域の複素誘電率を計測可能 ■液体試料も測定可能 ■解析用ソフトウェア：THz Analysisを標準搭載 ■レーザーの外部入力が可能なシステムを構築 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■測定方式：THz Time-Domain Ellipsometry ■計測信号：電場強度の時間波形 ■出力データ：エリプソメトリックパラメータ、 複素屈折率/ 誘電率/電気伝導度（解析プログラム使用) ■試料配置：水平配置（測定面：上面） ■測定帯域：0.5 ～ 3 THz 以上（標準試料による出力範囲） ■フェムト秒パルスレーザ ・中心波長 780～800 nm 付近、パルス幅 100fs以下（※外部からの導入も可能） ■制御用PC ・Windows 7(32bit 版) の動作条件を満たすコンピュータ ・Tera Evaluator との接続に有線LAN が1 ポート、USBが2ポート以上必要 ■ソフトウェア：測定用ソフトウェア、解析用ソフトウェア ■外形寸法/ 重量：732(W)×585(D)×500(H)mm、約85kg（※配線、突起等は含まない） ■電源：AC100 V（50/60 Hz）10A（但し、レーザー用に別系統の電源を推奨） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
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企業情報
日邦プレシジョン株式会社は半導体製造装置及び検査装置、周辺自動化装置の設計製造を目的にスタートし、この分野での技術力は高い評価を受けてきました。 以後、ここで培った技術やノウハウを赤外分光計、赤外顕微鏡等理化学関連機器の分野にも応用しています。 現在では、コンピュータ応用自動検査システムを始めＦＡ、搬送ロボット及び、制御装置等先進のメカトロニクス製品の設計・製造等広範な分野で着実に成果をあげ、半導体や液晶の製造プロセスの一翼を担う技術集団として、お客様の信頼を確かなものとしてまいりました。 そしてこの度、急速に変化する事業環境変化に即応し、競争力を強化するため、既存二つの工場棟に加え新たに新棟を再建設・完成させ、操業を開始しました。 各種半導体製造装置の増産を始め、次世代大型液晶パネル製造装置及び薄膜太陽電池用CVD製造装置の製造にも対応可能です。 お客様の多様なニーズにお応えするための新たな歩みを開始いたしました。
