MEMS/TSV用赤外透過 微細ヴィア・トレンチ検査装置
MEMS素子検査装置（メムス 微細穴深さ計測、パターン検査）
MEMS素子検査装置として、微細穴深さ計測装置とパターン検査装置をご用意しております。微細穴深さ計測装置は赤外線カメラと特殊アルゴリズムを用いて通常では計測不可能な直径２０μｍ以下の非貫通穴の深さ計測を可能にしました。パターン検査装置は赤外線顕微鏡と電動ステージを使用した自動赤外線画像処理検査装置で欠陥の自動検出を行います。欠陥部の位置、サイズ、画像を保存でき、ＭＥＭＳ（マイクロマシン）の検査用途に使用します。 詳しくはお問い合わせください。
- 企業：ディスク・テック株式会社 本社
- 価格：応相談
