MEMS素子検査装置（メムス 微細穴深さ計測、パターン検査）
MEMS素子検査装置として、微細穴深さ計測装置とパターン検査装置をご用意しております。微細穴深さ計測装置は赤外線カメラと特殊アルゴリズムを用いて通常では計測不可能な直径２０μｍ以下の非貫通穴の深さ計測を可能にしました。パターン検査装置は赤外線顕微鏡と電動ステージを使用した自動赤外線画像処理検査装置で欠陥の自動検出を行います。欠陥部の位置、サイズ、画像を保存でき、ＭＥＭＳ（マイクロマシン）の検査用途に使用します。 詳しくはお問い合わせください。
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基本情報
【特徴】 ○今まで目視にて行なっていた顕微鏡検査を自動化、定量化 ○検出画像を保存可能 ○検査結果をマップ表示可能 ○画像オートフォーカス ○欠陥検出ソフトウェア(ＯＫ,ＮＧ判断機能付き) ○ティーチングプレイバック動作 →一度教えたステージ動作を繰り返し動作 ○赤外線カメラを使用しており、赤外光がシリコンを透過する原理を利用 →非破壊検査が可能 ●詳しくはお問い合わせください。
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企業情報
ディスクテックの画像処理は社内光学系技術者、レーザー技術者、ハードウェア、ソフトウェア、精密機械技術者がトータルソリューションを提供します。赤外線を応用した検査装置、三次元検査装置など手がけています。自社製品の赤外線顕微鏡は10年以上の実績があります。
