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ドライポンプ(装置) - 企業3社の製品一覧

製品一覧

1~4 件を表示 / 全 4 件

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ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SST/SSXシリーズ

独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポンプ

◆独自設計のスクリューロータにより、 従来ドライポンプでは不向きとされていた 凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの 吸引を含むハードプロセスにおいても 安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、 堅牢性を重視した構造設計により、 ハードプロセスにおいても 安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、 容易に洗浄作業や分解作業ができ、 ランニングコストを 最小限に抑えます。 ●1Pa以下の優れた到達圧力が得られます。 ●パーティクルが ドライポンプ内部に堆積しにくい構造です。 一般的なドライポンプに比べ、 粉体・生成物・液体の排出性に優れます。 ●ポンプ回転速度が低速なため、 軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。 ●オプション品 多彩なアクセサリーを取り揃え、 ご用途に応じた最適なドライポンプをご提案します。

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ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SSHシリーズ

省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポンプ

豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、 省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを 有したスマートドライポンプです。 ●独自設計の面シールスクリューロータにより、 ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。 ●排気速度重視の「パワーモード」、 省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。 ●非腐食性ガスの場合、 冷却用ガス・シールガス・パージガスが不要です。 ●ポンプコントローラを搭載しており、 手動運転、遠隔操作が可能です。 ●冷却水不足、過負荷、異常発熱などのトラブルを検知します。 アラームや自動運転停止機能によってポンプへのダメージを防ぎます。 ●ポンプ回転速度が低速なため、 軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。 ●キャスター付

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ドライポンプ COBRA Semicon ファミリー

SEMICON Japan 2023に出展!ハーシュプロセスにおいて従来比2倍の耐久性を誇るドライポンプを実機展示!

★SEMICON JAPAN 2023に出展します★ 会期: 2023年12月13日(水)~15日(金) 会場: 東京ビッグサイト 東3ホール 小間番号 3736 【製品説明】 COBRA Semiconファミリーはスクリュー式ドライポンプです。半導体、ソーラーモジュール、フラットスクリーンの製造や、様々なコーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスで使用する際に特に優れた効率を発揮します。半導体業界の複雑な条件のアプリケーションに特適用可能な設計です。 【特長】 COBRA Semiconファミリーではいくつかのシリーズを展開しており、それぞれに特長があります。 ■ DSシリーズ:業界標準、高気密、従来型ベアリング ■ BAシリーズ:フライングベアリングシステム、空冷 ■ BCシリーズ:超低温真空ポンプ、フライングベアリング、水冷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • Rendering_COBRA-BC-0601-G_72dpi_rgb_isolated.png
  • Rendering_COBRA_DS_8162_E_72dpi_rgb_edit_interim.png
  • Cutaway_COBRA_Semicon_72dpi_rgb.png
  • 真空機器

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中古真空ドライポンプ

中古真空ドライポンプのことなら当社にお任せください

当社では、中古真空ドライポンプの売買を行っております。 試運転場を完備しておりますので、出荷前に動作確認をした上で、 製品の発送が可能。 また、半導体・液晶製造装置のメンテナンス及び部品販売・修理を手掛ける他、 管工事・電気工事、産業機械の販売、衛生環境システムの販売・メンテナンス、 部品洗浄など、様々な事業を展開しております。 【主要設備(一部)】 ■2tトラック(パワーゲート付き):3台 ■4tトラック(パワーゲート付き):1台 ■フォークリフト:2台 ■ポンプ試運転場 ■リークディテクター:1台 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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