ナノインデンター
数百nm～数umの薄膜または試料表面の硬度およびヤング率を高精度に測定することが可能です。
自動車部品で多用されるダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜やコネクタの電極表面の金属メッキ膜、樹脂表面の保護用ハードコート膜など、製品の機械的特性を向上させる薄膜の使用が増えています。ナノインデンターでは、従来の押しこみ試験では測定が困難であったミクロンレベルの薄膜に対し、高精度かつ自動で硬さ・ヤング率等の機械的特性が取得可能です。さらに加熱やスクラッチといった各種オプションも追加可能です。
- 企業：株式会社東陽テクニカ 慶應義塾大学理工学部中央試験所・ 東陽テクニカ産学連携室 ナノイメージングセンター
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
