卓上カーボンナノチューブ合成装置
エタノールやアルコールから、基板に垂直配向したカーボンナノチューブが成膜できる！
主にエタノールを炭素原料として用いた簡易型カーボンナノチューブ合成装置 ◆特徴◆ ・各種基板（シリコン・石英・チタン・ステンレス・セラミックス他）に 垂直配向したカーボンナノチューブが成膜できる ・全プロセスは２０分程度 ◆オプション ＣＶＤ原料導入用 ＳＵＳチャンバー （液体燃料導入ポート・ 炭化水素ガス導入ポート・還元ガス導入ポート・予備ポート） 追加電源セット（電源・ヒーターユニット） 放射温度計 各種安全機構
- 企業：株式会社マイクロフェーズ
- 価格：100万円 ~ 500万円
