ナノプロービングシステム 「Prober Shuttle」
SEM / FIB用ナノプロービング（マニピュレータ）システム 「Prober Shuttle（Shuttleシステム）」
ProberSHUTTLE（PS）は、SEM式ナノプロービング用途向けに特化して開発されました。 PS本体は既存の汎用SEM試料交換室経由で試料室内に導入されます。PSのプラットホーム上には最新のマニピュレータ（3軸）が最大4台まで配置され、SEM像をライブ観察しながら自在に制御できます。 ピエゾ駆動による最小動作分解能は0.25nm、プローブTip径(R)は最小30nmです。観察倍率に合わせて動作スピード(分解能)を切換えることで、低倍率〜高倍率での使用が可能です。 ナノチューブやトランジスタなどナノ試料のマニピュレーションから電気特性評価まで行えます。 ● SEM式ナノプロービングに特化 ● ロードロック式SEM対応 ● コンパクトサイズ ● 高い拡張性
- 企業：株式会社アド・サイエンス 営業部
- 価格：応相談
