SEM / FIB用ナノプロービング（マニピュレータ）システム 「Prober Shuttle（Shuttleシステム）」
ProberSHUTTLE（PS）は、SEM式ナノプロービング用途向けに特化して開発されました。 PS本体は既存の汎用SEM試料交換室経由で試料室内に導入されます。PSのプラットホーム上には最新のマニピュレータ（3軸）が最大4台まで配置され、SEM像をライブ観察しながら自在に制御できます。 ピエゾ駆動による最小動作分解能は0.25nm、プローブTip径(R)は最小30nmです。観察倍率に合わせて動作スピード(分解能)を切換えることで、低倍率〜高倍率での使用が可能です。 ナノチューブやトランジスタなどナノ試料のマニピュレーションから電気特性評価まで行えます。 ● SEM式ナノプロービングに特化 ● ロードロック式SEM対応 ● コンパクトサイズ ● 高い拡張性
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基本情報
Shuttleシステムは、多くのFE-SEMで採用されているロードロックに対応可能で、試料交換室経由で本体の着脱をするため、試料室を開放する必要がなくなります。特定のアプリケーションに特化しています。複数台のマニピュレータを1台のユニットにまとめることでコンパクトになり、特にユニット全体の厚みが薄いため、短いワーキングディスタンスに対応可能です。
価格情報
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納期
用途／実績例
・SEM式ナノプロービング(電気特性評価,バイアス印加) ・EBIC,RCI(吸収電流像) ・マニピュレーション(CNT,ナノ粒子,スクラッチetc)
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企業情報
国内、海外のネットワークを通じて、近赤外線・遠赤外線カメラ、マシンビジョンおよび交通監視用・組み込み用エンベディッドカメラ、画像入力ボード、研究・非破壊検査用のX線フラットパネル、電子顕微鏡周辺装置として真空下でコンタミの予防・除去が可能なプラズマアッシング装置、含水試料などを容易にイメージングする為のSEM/FIB用クライオ装置、マイクロマニピュレーター、ピエゾ位置決め装置など、工業用／サイエンス用問わず、用途目的に合わせパーツからシステムに至るまでお客様にご満足いただける製品を提供しています。