2電極静電容量センサー D-050/D-100 高分解能ナノ測定
最大測定範囲150µm、高精度なナノ変位制御に対応
D-050/D-100は、PI社が提供する2電極静電容量センサーで、最大150µmの測定範囲と0.01nmの分解能を実現。 干渉計より高分解能かつ非接触方式のため、ナノメートルスケールの測定に最適です。 パラレル計測に対応し、多軸制御におけるリアルタイム補正も可能。 直線性は0.01%以下（デジタルコントローラー使用時）、バンド幅は最大10kHz。 クリーン環境、半導体製造、計測機器への組込みに適しています。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
