DP-Fノンメタル:ダイヤフラムポンプ"DP- FsEシリーズ"
半導体産業用 電気切替ダイヤフラムポンプ DP- FsEシリーズ
DP-Fノンメタルシリーズ:半導体産業用 電気切替ダイヤフラムポンプ DP- FsEシリーズ 【特徴】 ■ダイアフラムをはじめポンプ本体の接液部も全て フッ素樹脂(PTFE・PFA)を使用した樹脂タイプのポンプ ■強酸・強アルカリ液などに優れた耐食性を持つ ■温度変化のある環境やCMPスラリー移送に好適 ■光ファイバー式ストロークセンサーを採用し、 防爆仕様の外部電子制御が可能 ※詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社ヤマダコーポレーション
- 価格:応相談