洗浄装置 ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』
各種ウェハーの基板洗浄や各種フォトマスク、磁気ディスク等の洗浄に最適
ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』は、サブミクロン以下のパーティクルを除去し、特殊型振動素子により効率よく音波を伝搬させ、ワークにダメージを与えません。多彩な周波数を選択可能(750/1000/1500/2000kHz)で、微細な出力調整ができ、1W刻みの安定した出力調整が可能です。最大出力がアップし、洗浄エリアの拡大が可能です。また、通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定が可能になります。各種規格(FCC/CE/RoHS)にも対応しております。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業:株式会社プレテック
- 価格:応相談