バルブ「半導体製造装置用ゲートバルブ300mm(12inch)」
駆動機構の部品数削減！半導体製造装置用に開発した高真空ゲートバルブ
300mm 半導体製造装置用ゲートバルブをあらたに開発致しました。 カム方式による one-action valveの機構を採用し、コンパクト化、メンテナンス性向上、及び低価格化を実現しました。 高速駆動対応により、タクトタイム短縮が可能です。 【特徴】 ○無摺動機構の採用で装置内をクリーンな状態に保持 ○弁板シール部は独自の溝形状により、メタルコンタクトの防止など クリティカルなアプリケーション下でも安定したシール性を確保 ○実績豊富なカム方式による駆動方法で、安定したシール性能を確保 ○長寿命に対応した品質と信頼性を確保 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
