12インチウェハ対応バンプテスター SigmaW12
最大12インチのウェハ上のバンプのシェア、ツィーザープルテストに最適なボンドテスター
最大12インチのウェハ上のバンプのシェアテスト、ツィーザープルテストに最適な多機能ボンドテスター。回転式測定ヘッドにより、作業者によるセンサー(ロードセル)の付け替え不要。最高50mm/secのステージ移動速度により広範囲のバンプを短時間で測定。回転式シェアセンサーによりウェハの回転が不要。パターン認識対応の自動測定プログラムにより省力化を実現。オプションのブロアー、バキュームクリーナーでツール先端の残渣を除去。ウェハ搬送システムを含めたフルオート仕様のご提案も可能。
- 企業:テクノアルファ株式会社
- 価格:応相談