最大12インチのウェハ上のバンプのシェア、ツィーザープルテストに最適なボンドテスター
最大12インチのウェハ上のバンプのシェアテスト、ツィーザープルテストに最適な多機能ボンドテスター。回転式測定ヘッドにより、作業者によるセンサー（ロードセル）の付け替え不要。最高50mm/secのステージ移動速度により広範囲のバンプを短時間で測定。回転式シェアセンサーによりウェハの回転が不要。パターン認識対応の自動測定プログラムにより省力化を実現。オプションのブロアー、バキュームクリーナーでツール先端の残渣を除去。ウェハ搬送システムを含めたフルオート仕様のご提案も可能。
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基本情報
オランダXYZTEC（ザイズテック）社の最新モデルSigma（シグマ）の8インチ、12インチウェハ専用機。X軸500mm、Y軸370mm可動範囲により、12インチウェハ全域で測定可能。最高50mm/secのステージ移動速度で広範囲の測定もストレスフリーに対応。高倍率のオフセットカメラにより破断面の観察、画像記録。パターン認識対応自動測定機能により、測定作業の大幅な省力化、作業者によるばらつきの可能性を排除。誤差±0.075％の高精度センサー（ロードセル）搭載。回転式ヘッドにセンサーを最大6個搭載可能で、シェア、プルの切り替え時にも作業者によるセンサーの付け替え作業は不要。EFEM対応仕様のフルオート仕様機は海外の大手半導体メーカーで採用実績がございます。
価格情報
仕様により価格が異なります。詳しくはお問い合わせください。
納期
※6～12か月（仕様により異なります）
用途／実績例
ウェハ上のはんだバンプのシェアテスト、ツィーザープルテスト、金バンプのシェアテスト。
企業情報
私たちテクノアルファのMissionは、圧倒的な付加価値の創造により、「日本のモノづくりを輝かせる」ことです。そのための目指すべき理想像として「日本一の技術商社」をVisionに掲げ、その実現に取組んでいます。 テクノアルファは、メンバー全員が技術的なバックグランドを持ち、営業・サービス・機械設計・電気設計・ソフト開発で構成されるチームです。お客様と同じ目線で、同じ言語で問題を解決できることが、私たちチームの強みであり、迅速な最新技術の提供を可能にしています。このチームで、世界で最先端の技術を探し出し、そして国内に導入し、まだ世の中にないものは自分たちで開発することに取組んでいます。世界の最先端テクノロジーをいち早く発掘し、世の中にない物は自分たちで開発して、国内企業へ提供することで、産業界全体のモノづくりを後押しすることができます。 私たちチームは、Valueとして「世界と繋がり、技術を磨き、未来へ挑む」を掲げ、商材の発掘力、設計・開発力、技術サービス力に一層の磨きをかけて、お客様に感動していただける圧倒的な付加価値の創造に挑戦し続けていきます。
