パイオファインカートリッジ（半導体用ガス精製器）
半導体用ガス精製器です。
独自に開発した触媒の使用により、各種半導体用ガスの精製に優れた性能を発揮します。 【特長】 ・精製筒、高性能フィルターおよびダイヤフラムバルブの一体構造によるコンパクト化を 実現し、よりユースポイント近くでの精製が可能です。 ・高性能フィルターおよび出荷前のベーキング処理によりパーティクル/脱ガスについての 万全の対策を施しています。 ・特別なユーティリティの必要はありません。（N型、B型は再生可能です。） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
- 価格：応相談
