半導体用ガス精製器です。
独自に開発した触媒の使用により、各種半導体用ガスの精製に優れた性能を発揮します。 【特長】 ・精製筒、高性能フィルターおよびダイヤフラムバルブの一体構造によるコンパクト化を 実現し、よりユースポイント近くでの精製が可能です。 ・高性能フィルターおよび出荷前のベーキング処理によりパーティクル/脱ガスについての 万全の対策を施しています。 ・特別なユーティリティの必要はありません。（N型、B型は再生可能です。） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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「クリーン」「セーフティ」「ヘルシー」を 企業活動の理念にかかげ、パイオニア精神を持って、ますます技術力を強化し、新しい分野への開発を進め、社会への貢献を目指してまいります。