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【JIS B9908】対応！サンプリング流量は28.3L/minと高流量です
『LAP340』は、ISO16980に準拠した、エアフィルタの捕集効率評価に好適な 装置です。 粒径範囲0.3μmから10μmを16チャンネルに分割できます。 サンプリング流量が28.3L/minと高流量であり、評価時間を短縮することが 可能です。 当製品は2019年発行の【JIS B9908】に対応しています。 【特長】 ■2019年発行の【JIS B9908】に対応 ■可測定粒径範囲は0.3から10μm、16チャンネルに分割可能 ■サンプリング流量は28.3L/minと高流量 ■最大可測濃度は980 000個/cf （35個/cm3） ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
液中パーティクルカウンター（半導体・ウェハー関連）
皆様はパーティクル プリカーサー（Particle Precursor）についてご存じでしょうか。 半導体の歩留まり（yield）を高めるうえでゴミや汚れを取り除く洗浄工程（Cleaning）は極めて重要であり、ファウンドリーでは洗浄に使用するUPWや薬液が綺麗であることをマストで管理しております。 今までは液中粒子（Particles）が歩留まり低下の要因とされ「20nmの粒がいくつ以下で」などと管理をしてきたのですが、ここ最近は粒子ではなくUPWや薬液に溶け潜み乾燥したら現れるコンタミが歩留まりに悪影響を与えていることが知られております。「液中ではカウントできなかったのに、ウエハ上ではベターっとシミのように存在を現す、、、」そのコンタミをパーティクルプリカーサーと言います。 微細化、集積化という言葉が飛び交う中、UPW（超純水）や薬液（IPA、水酸化アンモニウム、過酸化水素、塩酸、PGME）中のパーティクルやプリカーサー管理にご興味を頂いたファウンドリー及びサプライヤーの皆様は一度お問い合わせくださいませ。
