ＡＱヒーター
半導体洗浄装置の洗浄に最適！消費電力も少なく節電対策にもなります。
ＡＱヒーターは、半導体製造プロセスの洗浄用・各種薬液の加熱を 低温で加熱できるヒーターです。 接液部は全て高純度の透明石英ガラスで、又当社独自の赤外線加熱の為、 不純物（ガラスの溶出）の汚染を最小限に抑え、且つ安全にご使用頂ける ヒーターです。 ・加熱方式が当社独自の赤外線加熱方式の為、流体のピーク 波長が近いので透過率を最小限に抑え、また昇温時間が極 めて早い。 ・流体のピーク波長に近い為、ヒーター表面温度を低くし、 不純物（ガラスの溶出）の汚染を最小限に抑えます。 ・コンパクト設計の為、小スペースで取り付けが出来ます。
- 企業：株式会社ダステム
- 価格：応相談
