多チャンネルピエゾコントローラ M-2629S(C)
最大3軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御可能
当社標準ピエゾドライバーM-2629シリーズにM-5106 サーボユニットを搭載することで最大3軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御が可能です。さらに静電容量変位計M-2218 を搭載することで静電容量変位センサーでのフィードバック制御も実現します。JISラックに搭載可能で、「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ(各メーカー)」に対応しています。
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最大3軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御可能
当社標準ピエゾドライバーM-2629シリーズにM-5106 サーボユニットを搭載することで最大3軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御が可能です。さらに静電容量変位計M-2218 を搭載することで静電容量変位センサーでのフィードバック制御も実現します。JISラックに搭載可能で、「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ(各メーカー)」に対応しています。
制御回路・センサーアンプ、ピエゾドライバを一体化し、ステージと接続してクローズドループ制御がおこなえるピエゾコントローラ
チャンネル数 1ch・3ch OPEN/CLOSED フィードバック切り替え 出力電圧 -10V~+150V(BNCコネクタ)
制御回路、センサーアンプ、ピエゾドライバを一体化 ステージと接続してクローズドループ制御が行えるピエゾコントローラ
チャンネル数 1ch 出力電圧 -10V~+150V(BNCコネクタ)
使用軸数や対応センサー、動作仕様に合わせて柔軟な構築が可能
E-500/E-501は、1~3チャネル構成のピエゾシステムに対応するカスタム設計可能なコントローラです。 高電圧アンプ(最大1100V)や、多チャネル対応の静電容量・SGSセンサー制御モジュールを選択可能で、幅広いPI製品と互換性があります。 各種モジュールを組み合わせて構成され、制御精度・応答性を高めると同時に、装置組込みの柔軟性も確保。
24 bit DAC×20 kHzサンプリングレート、アナログ制御も対応1軸ピエゾコントローラ
E-709.1C1L型コントローラは、静電容量式センサーを備えたピエゾベースの1chナノポジショニングシステムです。 ・出力電圧 -30~ 130 V ・ダイナミックアプリケーション向けに最適化されたアンプとセンサ ・デジタルリニアリゼーション ・インターフェース:USB・SPI・RS-232、0~+10 Vアナログ入力制御 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
最大4軸対応、データ記録・波形生成機能も標準搭載
E-727は最大4チャンネル対応のデジタル制御ユニットで、標準仕様に加え高出力電流モデル(最大1500mA)もラインナップ。 アナログ入力/出力端子に加え、デジタルI/O、センサーモニター出力、波形ジェネレーター機能などを搭載し、先進的なピエゾモーションアプリケーションに完全対応。 センサーバンド幅10kHz、サンプリングレート100kHzでの信号処理が可能で、動的計測や同期制御にも優れた性能を発揮します。
ピエゾコントローラ クローズドループ制御
静電容量センサー(C)、ひずみゲージセンサー(S)に対応 チャンネル数 1ch・3ch 出力電圧-50~150V