帯電防止バイピッチキャリア『FB15A101』＜6インチ＞
薄ウエハのたわみを押さえるために櫛歯長さを15mmに延長！
『FB15A101』は、前工程キャリアとして実績のあるe-mateX FB-0430系 材料を使用し、後工程での薄ウエハ(Backgrinded Wafer)用キャリアとして 設計した13枚スロットキャリアです。 従来溝を切削加工により13枚にしたキャリアと異なり、金型による製品の 安定した品質を提供。 さらに薄ウエハのたわみを押さえるために櫛歯長さを15mmに延長しています。 【仕様】 ■スロット：13枚 ■外形寸法：全長(A1)155.48mm×フランジ外幅(A2)177.5mm×全高(A3)170.7mm ■D1寸法：22.49mm ■溝ピッチ：9.525mm ■ハンドル：有り・無し ■材料：標準材(FB-0431)・耐熱材(FB-0432) ※2022年4月以降は、新グレードFB-0437材での製品出荷 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：冨士ベークライト株式会社
- 価格：応相談
