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3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計【アルバック／ULVAC】
センサユニットSP1 は、「測定子WP シリーズと回路部一体型」で3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計です。この真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込むことで、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。 【仕様】 ○LED表示 パワー、エラー、セットポイント1/2 ○電源電圧 DC24V±2V 90mA（Max.） ○入出力コネクタ D-sub-15P（M2.6 screw） ○本体質量 190g（測定子含まず） ○付属品 入出力コネクタ 1式 取扱説明書 1部 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
•豊富なバリエーション → 用途にあわせて最適な機種を選択可能 •日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。
低・中真空領域の測定用や各種システム搭載用など！用途の広いピラニ真空計
ピラニゲージ『M-350PG』は、大気圧から測定できる手軽さと、高い コストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。 低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、 自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。 【特長】 ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2Paから大気圧 ■低・中真空領域の測定に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
部品交換のみの容易なメンテナンス！1台2役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献
『M-361CP』は、大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、 高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを 組み合わせたコンビネーションゲージです。 1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの コストダウンや管理負荷低減に貢献。 また、部品交換のみの容易なメンテナンスです。 【特長】 ■測定安定性の改善 ・新開発の放電アシスト機能によりピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止を低減 ■優れた大気圧検出を実現 （当社比） ・本器搭載のピラニゲージは大気圧付近の安定性・再現性が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応したモデル
ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など さまざまな装置にお使いいただけます。 【特長】 ■耐食性の向上（Niフィラメント採用など） ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2Paから大気圧 ■取付方向の制約がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
各種真空システム搭載に好適な真空計
■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。 優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。 ■『コールドカソードピラニゲージ』は、堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)とピラニゲージを組み合わせ、 大気圧から高真空まで広い圧力測定範囲を持つコンビネーションゲージです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
