株式会社エイブルジャパン 取扱製品 総合カタログ
フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。
株式会社エイブルジャパン 取扱製品 総合カタログでは、中央に搬送ロボットを設置し、各ユニットを放射線状に配置するタイプの「マスク洗浄装置（自動タイプ）」や、投入された基板に自動で塗布～乾燥まで行う装置「オートスピンコーター」、ウェハーの洗浄を行う装置「スピンクリーナー」、カセット内の基板受渡しを行う装置「LD／ULD」、塗布後の基板を乾燥する装置「UV照射装置」等、多数掲載しています。 【掲載製品】 ○マスク洗浄装置 ○スピンナー ○マニュアルスピンコーター ○スピンエッチャー ○フォトマスク用プロセス装置 他 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社エイブルジャパン
- 価格：応相談
